Bei Gasanalysen wird normalerweise eine Vakuumpumpe eingesetzt, um eine Gasprobe über oder durch einen Sensor zu ziehen und eine bestimmte Eigenschaft zu bestimmen. Zu den typischen Anwendungsgebieten zählen die Analyse von Fahrzeugabgasen und Tests zur Luftqualität. Für diese Anwendung ist eine trocken laufende Vakuumpumpe erforderlich, um eine Verunreinigung des zur Probe entnommenen Gases zu verhindern.